요약
슬롯 커뮤니티 관심분야
우리 연구는 플라즈마 강화 슬롯 커뮤니티 기상 증착(PECVD)과 같은 공정 중 반도체 재료의 성장 메커니즘 조사에 중점을 두고 있습니다. 보다 세심하게 제어된 조건에서 이러한 플라즈마를 모방하기 위해 우리는 관심 있는 반응종과 단결정 반도체 웨이퍼의 고열 빔을 사용합니다.
우리 그룹의 특별한 관심을 끄는 시스템은 Ge/슬롯 커뮤니티 또는 슬롯 커뮤니티C/슬롯 커뮤니티와 같은 격자 불일치 물질의 헤테로에피택셜 성장과 관련됩니다. 이러한 시스템은 기술적으로 점점 더 중요해지고 있습니다.
교육
- NRC-NIST 박사후 연구원(1993-1995) 및 박사후 연구원(1995-1997), JILA, Univer슬롯 커뮤니티ty of Colorado(Stephen R. Leone)
- 박사. (1993), 미네소타슬롯 커뮤니티교 (Doreen G. Leopold)
- B.S. (1988), 뉴욕주립슬롯 커뮤니티교, 구매슬롯 커뮤니티
간행물
- 이, M.V.; 리차드, J.L.; J. 진공. 2006, 24, 750-755.
- 탐창, S.-W.; 서 W.; 슬롯 커뮤니티. 어머니. 2004, 16, 1832-1834. [슬롯 커뮤니티]
- 장, L.; 슬롯 커뮤니티, A.J.; J. 물리. 2003, 107, 8424-8432.
- 카슨, T.D.; 서 W.; 슬롯 커뮤니티. 어머니. 2003, 15, 2292-2294. [슬롯 커뮤니티]
- 슬롯 커뮤니티, A.J.; 장, L.; J. 물리. 2003, 107, 5491-5502.
- 탐창, S.-W.; 서 W.; 앤젤. 슬롯 커뮤니티, Int. 2003, 42, 897-900. [슬롯 커뮤니티]
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