Davidson Foundation Cleanroom이 올해 말 William Pennington Engineering Building에서 열릴 때 슬롯 무료체험원들은 반도체, 광자 및 기타 나노 가재 기술의 경계를 밀 수 있습니다.
Cleanroom의 새로운 이사 인 Russell 슬롯 무료체험는 버클리 캘리포니아 대학교에서 물리 화학 박사 학위를 취득했으며 10 년이 넘는 업계 경험을 보유하고 있습니다. 1 월 리노의 네바다 대학교에 합류 한 이후, 그는 나노 가공에 필요한 도구와 장비를 시설에 장착하고 있습니다.
Davidson Foundation Cleanroom은 슬롯 무료체험 북부 지역에서 유일한 종류가 될 것이며, 최첨단 연구 및 프로토 타입 기능에 대한 접근 및 중요한 나노 보관 기술에 대한 교육을받은 인력 개발을 제공함으로써 현재와 미래의 지역 산업을 지원할 것으로 예상됩니다..
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클린 룸과 그 운영은 반도체 및 배터리를 포함한 탄력적 공급망 및 중요한 재료를 다루는 공학 슬롯 무료체험의 연구 기둥을 지원합니다..
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작은 시작
나노 가공은 물질에서 원자의 특성을 다룹니다. 이 공정은 일반적으로 직경이 약 몇 인치 정도 약한 실리콘 웨이퍼로 시작하여 수십 또는 수백 나노 미터의 금속 또는 유전체 재료 (전기가 열악한 전기 전도체이지만 정전기 분야의 효율적인 지지자 인 재료)..
웨이퍼는 Photoresist라는 광에 민감한 중합체로 코팅된다고 슬롯 무료체험는 설명했다. 그 후, 포토 레지스트의 일부는 마스크를 통해 빛에 노출됩니다.
노출 된 재료는 플라즈마 에칭 시스템으로 에칭되며 나머지 포토 레지스트를 제거하여 프로세스가 완료됩니다.
“일부 변형 으로이 프로세스의 반복주기는 복잡한 미니어처 전자, 광 음질 및 양자 회로를 제조 할 수 있습니다.”라고 슬롯 무료체험는 말했습니다.
결과는 더 빠르고 작고 강력한 컴퓨터와 전자 제품이 될 수 있습니다. 이 분야에서 일하는 엔지니어링 슬롯 무료체험 교수 중에는 Jeongwon Park와 Hao Xu가 전기 및 생물 의학 공학 교수;
슬롯 무료체험는 또한 공학 대학의 화학 및 재료 공학과의 전자 현미경 및 미세 분석 시설과 같은 대학의 기존 연구 실험실 및 장비 중 일부에 대한 새로운 클린 룸을 무료 시설로보고 있습니다.
깨끗한 룸은 얼마나 깨끗합니까?
나노 가공이 원자 수준에서 발생하기 때문에 프로세스는 먼지가없는 환경에서 수행되어야합니다.
Davidson Foundation Cleanroom의 2,937 평방 피트 대부분은 클래스 1000으로 등급이 매겨져 있으므로 입방 미터당 1,000 미만의 입자가 1,000 대의 공기가 있음을 의미합니다. 일부 유형의 마스킹 및 에칭이 수행되는 리소그래피 베이는 클래스 100입니다.
이 수준의 청결은 본질적으로 본질적으로 HEPA (고효율 미립자 공기) 필터를 클리닝 룸으로 밀어 넣어야한다고 거대한 HVAC 시스템이 필요하다 "고 슬롯 무료체험는 말했다. "그런 다음 공기의 온도와 습도를 제어 할뿐만 아니라 서비스 추격을 통해 꺼내십시오.".
앞으로
슬롯 무료체험는 클린 룸에 필요한 장비를 장비하기 위해 노력하고 있기 때문에 시설을 강력한 혁신 센터로 만들 수있는 산업 및 연구 기관과의 파트너십을 개발하기 위해 노력하고 있습니다. 현재 주문중인 청정실 기계는 다음과 같습니다.
- 옥스포드 기기의 ICP Rie Etch 시스템은 두 개의 원자 층 에칭 매니 폴드, 극저온 기능 및 광 방출 분광법으로 고유하게 구성되었습니다..
- 비용이 많이 드는 물리적 마스크가 필요없이 포토 레지스트 패터닝을 가능하게하는 마스크리스 리소그래피 시스템.
- 에칭 프로세스없이 금속의 증착 및 패터닝을 가능하게하는 전자 빔 증발기.
- 혈장이 금속 또는 유전체 표적으로부터 재료를 제거하는 데 혈장을 사용하는 증착 공정에 사용되는 스퍼터링 시스템.
- 표준 PCB 제작 기술을 사용하여 묻힌 기능이있는 플렉스 및 표준 PCB 보드를 생성 할 수있는 3D 회로 프린터.
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자세한 내용은 Russell 슬롯 무료체험 at에게 연락하십시오.r슬롯 무료체험@unr.edu.
